无尘车间的特点在于,无论外部的气体标准怎幺改变,均能使室内的空气维持在一定的洁净度、湿度及压力,那幺无尘车间有什幺用途呢?
无尘车间较主要之作用在于操控商品(如硅芯片等)所触碰之大气洁净度日及温湿度,让产品能在一个环境空间内出产、制做,此空间我们称作无尘车间。按照全球惯例,无尘净化等级首要是依据每立方米空气中粒子直径大于划分规范的粒子数量来规定。也便是说所谓无尘并非没有一点尘埃,而是操控在一个十分微量的企业上。当然这个规范中符合尘埃规范的颗粒相关于我们常见的尘埃已是小的微乎其微,但是关于光学结构来讲,即便是一点点的尘埃都会产生十分大的负面影响,因此在光学结构产品的出产上,无尘是一定的规定。
每立方米将超过0.5μm粒径的浮尘数量操控在457个以下,达到全球无尘规范的A级。运用在芯片级出产加工的无尘规范有关尘埃的需求高过A级,这样的高标主要被应用在一些级别较高芯片出产上。浮尘数量被严格操控在每立方米205个之内,这也是业内俗称的1K级别。
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