1.高效颗粒空气（HEPA）过滤器：

HEPA过滤器是一种高效的颗粒物过滤设备，能够有用捕捉和去除空气中的微小颗粒，通常具有99.97%以上的过滤效率。在无尘车间中，HEPA过滤器被广泛应用于空气处理系统，以过滤和清洁进入车间的空气。它们能够去除尘埃、病毒、细菌、花粉和其他微粒，确保车间环境的洁净度。

2.超低渗透率（ULPA）过滤器：

ULPA过滤器是一种更高效的颗粒物过滤器，其过滤效率通常在99.999%以上。与HEPA过滤器比较，ULPA过滤器能够更彻底地去除空气中的微粒，包含更小尺寸的颗粒。在对洁净度要求极高的无尘车间中，如半导体制造和生物医药范畴，ULPA过滤器被广泛应用。

3.正压控制系统：

在无尘车间中，正压控制系统是确保车间内部空气继续流向外部的要害。经过引入新鲜空气并保持正压，能够避免室外空气、尘埃或微生物进入车间。正压控制系统合作过滤器的运用，能够大幅度下降污染物的风险，确保车间环境始终保持洁净。

4.空气循环与气流形式规划：

合理的空气循环和气流形式规划在无尘车间中至关重要。良好的空气循环能够将洁净空气均匀分布到整个车间，消除死角和积尘区域。根据工艺需求，选用适当的气流形式，如单向流或混合流，能够有用地带走发生的污染物，确保车间内的洁净度。

5.空气监测和调理：

为了确保无尘车间中的空气质量继续符合要求，空气监测和调理是必不可少的。经过装置空气质量监测设备，能够实时监测要害参数，如颗粒物浓度、温度和湿度等。根据监测成果，及时调理空气净化系统的运行参数，以保持车间环境的洁净度。