洁净室要抵达洁净等级,有必要有综合办法,其间包括工艺安置、修建平面、修建构造、修建装修、人员和物料净化、空气洁净办法、维护管理等。其间空气洁净办法是实现洁净等级的根本确保。空气洁净而言,主要有以下几项具体办法:
(1)对洁净室的送风有必要是有很高洁净度的空气。因此,有必要选用高效或亚高效过滤器(洁净等级低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行然后一级过滤。为保护终端过滤器和延伸其寿命,有必要使空气先经中效过滤器进行过滤。
(2)依据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流散布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接抵达工作区;气流的活动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。
(3)有满足的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又确保有安稳的气流流型。
(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应坚持一定的正压值。
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