无尘车间是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别规划之房间。　　

无尘车间是不管外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有保持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间的等级包含1级无尘车间、百级无尘车间、千级无尘车间以及十万级无尘车间等。　　

千级无尘车间是什么意思?　　

每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在144个以下，达到了世界无尘规范的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘规范对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米3458个以内，这也便是业内俗称等级中的千级。　　

千级无尘车间的规范，微尘数量被严格控制在每立方米3458个以内，这也便是业内千级无尘车间的意思。（1000级的概念是：每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗）。　　

无尘车间等级规范区分洁净度等级规范ISO14644根据悬浮粒子浓度这个仅有指标来区分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级，而且仅考虑粒径限值(低限)0.1um～0.5um范围内累计分布的粒子群。根据粒子径，能够区分为惯例粒子(0.1um～0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。