1、十万级无尘车间的地面应整体性好、平整、耐磨、耐撞击、不易积聚静电、易除尘清洗，地面垫层应配筋，潮湿地区应做防潮处理。

　　2、十万级无尘车间的建筑围护界区和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。十万级无尘车间车间内墙壁和顶棚的表面，应平整、光洁、无裂缝、接口严密，无颗粒。

　　3、十万级无尘车间内墙壁和顶棚的表面，应平整、光洁、无裂缝、接口严密，无颗粒物脱落，并应耐清洗和耐酸碱，墙壁和地面、吊顶结合处做成弧形，踢脚不宜高出墙面，当采用轻质材料融断时，应采用防碰撞措施。

　　4、技术夹层为轻质吊顶时，设置检修通道。建筑风道和回风地沟的内表面装修标准，应与整个送回风系统相适应并易于除尘。

　　5、十万级无尘车间的建筑围护界区和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料